英超联赛下注

超高速分光干渉式膜厚仪


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YIFEIJIECHUFANGSHICELIANGJINGYUANDENGDEYANMOHEPAOGUANGGONGYI,CHAOGAOSU、SHISHI、GAOJINGDUCELIANGJINGYUANHESHUZHI

YINGCHAOLIANSAIXIAZHUXIANGXIXINXI

TEDIAN

  • FEIJIECHUSHI,FEIPOHUAIXINGHOUDUCELIANG

  • FANSHEGUANGXUEXITONG(KECONGYICEJIECHUCELIANG)

  • GAOSU(ZUIGAO5 kHz)SHISHIPINGCE

  • GAOWENDINGXING(ZHONGFUJINGDUDIYU0.01%)

  • NAICUCAODUQIANG

  • KEDUIYINGRENYIJULI

  • ZHICHIDUOCENGJIEGOU(ZUIDUO5CENG)

  • NEIZHINGSHUJUXIAOCHUGONGNENG

  • KEJINXINGJULI(XINGZHUANG)CELIANG(SHIYONGPEIJIANQIANRUSHICHUANGANQI)*

*TONGGUOCELIANGCELIANGFANWEINEIDEGUANGXUEJULI

 toku.png

Point1:DUYOUJISHU

对应广范围的薄膜厚度并实现高波长分辨率。
采用大塚电子独有技术制成紧凑机身。
thickne.png

spectra.png

Point2:GAOSUDUIYING

即使是移动物体也可利用准确的间距测量,

是工厂生产线的理想选择。

speed.png

Point3:GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPINDOUKEDUIYING

CONG20WEIMIDEXIAOBANDIANDAO

GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPIN,DOUKEJINXINGHOUDUCELIANG。

spot.png

Point4:GEZHONGHUANJINGDOUKEDUIYING

YINWEIZUIYUANKEYICONG200 mmDEWEIZHIJINXINGCELIANG,

SUOYIKEGENJUMUDEHEYONGTUGOUJIANCELIANGHUANJING。

condtion.png

CEDINGXIANGMU

HOUDUCELIANG(5CENG)

YONGTU

GEZHONGHOUMODEHOUDU

youto.png

SHIYANG

型号SF-3/200SF-3/300SF-3/1300SF-3/BB
测量厚度范围㎛5~40010~77550~13005~775
树脂厚度范围㎛10~100020~1500100~260010~1500
最小取样周期kHz(μsec)5(200)※1-
重复精度%0.01%以下※2
测量点径㎛约φ20以上※3
测量距离mm50.80.120※4.200※4
光源半导体光源(クラス3B相当)
解析方法FFT解析,最适化法※5
interfaceLAN,I/O入输出端子
电源DC24V式样(AC电源另行销售)
尺寸mm123×128×224检出器:320×200×300
     光源:260×70×300
     
选配各种距离测量探头,电源部(AC用),安全眼睛
     铝参考样品,测量光检出目标,光纤清理器

 *1 : 测量条件以及解析条件不同,最小取样周期也不同。
*2 : 是英超联赛下注出货基准的保证值规格,是当初基准样品AirGap约300μm和
         約1000μm测量时的相对标准偏差( n = 20 )
*3 : WD50mm探头式样时的设计值
*4 : 特別式样
*5 : 薄膜测量时使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300

JIBENGOUCHENG

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CEDINGLI

 SF-3r-1.png

TIEHEJINGYUAN

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Mapping结果
研削后300mm晶圆硅厚度