YIFEIJIECHUFANGSHICELIANGJINGYUANDENGDEYANMOHEPAOGUANGGONGYI，CHAOGAOSU、SHISHI、GAOJINGDUCELIANGJINGYUANHESHUZHI
YINGCHAOLIANSAIXIAZHUXIANGXIXINXI
TEDIAN
FEIJIECHUSHI，FEIPOHUAIXINGHOUDUCELIANG
FANSHEGUANGXUEXITONG（KECONGYICEJIECHUCELIANG）
GAOSU（ZUIGAO5 kHz）SHISHIPINGCE
GAOWENDINGXING（ZHONGFUJINGDUDIYU0.01％）
NAICUCAODUQIANG
KEDUIYINGRENYIJULI
ZHICHIDUOCENGJIEGOU（ZUIDUO5CENG）
NEIZHINGSHUJUXIAOCHUGONGNENG
KEJINXINGJULI（XINGZHUANG）CELIANG（SHIYONGPEIJIANQIANRUSHICHUANGANQI）*
*TONGGUOCELIANGCELIANGFANWEINEIDEGUANGXUEJULI
Point1：DUYOUJISHU
对应广范围的薄膜厚度并实现高波长分辨率。
采用大塚电子独有技术制成紧凑机身。
Point2：GAOSUDUIYING
即使是移动物体也可利用准确的间距测量，
是工厂生产线的理想选择。
Point3：GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPINDOUKEDUIYING
CONG20WEIMIDEXIAOBANDIANDAO
GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPIN，DOUKEJINXINGHOUDUCELIANG。
Point4：GEZHONGHUANJINGDOUKEDUIYING
YINWEIZUIYUANKEYICONG200 mmDEWEIZHIJINXINGCELIANG，
SUOYIKEGENJUMUDEHEYONGTUGOUJIANCELIANGHUANJING。
CEDINGXIANGMU
HOUDUCELIANG（5CENG）
YONGTU
GEZHONGHOUMODEHOUDU
SHIYANG
| 型号 | SF-3/200 | SF-3/300 | SF-3/1300 | SF-3/BB |
|---|---|---|---|---|
| 测量厚度范围㎛ | 5～400 | 10～775 | 50～1300 | 5～775 |
| 树脂厚度范围㎛ | 10～1000 | 20～1500 | 100～2600 | 10～1500 |
| 最小取样周期kHz（μsec） | 5（200）※1 | - | ||
| 重复精度% | 0.01%以下※2 | |||
| 测量点径㎛ | 约φ20以上※3 | |||
| 测量距离mm | 50.80.120※4.200※4 | |||
| 光源 | 半导体光源（クラス３Ｂ相当） | |||
| 解析方法 | FFT解析，最适化法※5 | |||
| interface | LAN，I/O入输出端子 | |||
| 电源 | DC24V式样（AC电源另行销售） | |||
| 尺寸mm | 123×128×224 | 检出器：320×200×300 光源：260×70×300 | ||
| 选配 | 各种距离测量探头，电源部（AC用），安全眼睛 铝参考样品，测量光检出目标，光纤清理器 | |||
＊1 ： 测量条件以及解析条件不同，最小取样周期也不同。
＊2 ： 是英超联赛下注出货基准的保证值规格，是当初基准样品AirGap约300μm和
約1000μm测量时的相对标准偏差（ n = 20 ）
＊3 ： WD50mm探头式样时的设计值
＊4 ： 特別式样
＊5 ： 薄膜测量时使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300
JIBENGOUCHENG
CEDINGLI
TIEHEJINGYUAN
Mapping结果
研削后300mm晶圆硅厚度