YIFEIJIECHUFANGSHICELIANGJINGYUANDENGDEYANMOHEPAOGUANGGONGYI,CHAOGAOSU、SHISHI、GAOJINGDUCELIANGJINGYUANHESHUZHI
YINGCHAOLIANSAIXIAZHUXIANGXIXINXI
TEDIAN
FEIJIECHUSHI,FEIPOHUAIXINGHOUDUCELIANG
FANSHEGUANGXUEXITONG(KECONGYICEJIECHUCELIANG)
GAOSU(ZUIGAO5 kHz)SHISHIPINGCE
GAOWENDINGXING(ZHONGFUJINGDUDIYU0.01%)
NAICUCAODUQIANG
KEDUIYINGRENYIJULI
ZHICHIDUOCENGJIEGOU(ZUIDUO5CENG)
NEIZHINGSHUJUXIAOCHUGONGNENG
KEJINXINGJULI(XINGZHUANG)CELIANG(SHIYONGPEIJIANQIANRUSHICHUANGANQI)*
*TONGGUOCELIANGCELIANGFANWEINEIDEGUANGXUEJULI
Point1:DUYOUJISHU
对应广范围的薄膜厚度并实现高波长分辨率。
采用大塚电子独有技术制成紧凑机身。
Point2:GAOSUDUIYING
即使是移动物体也可利用准确的间距测量,
是工厂生产线的理想选择。
Point3:GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPINDOUKEDUIYING
CONG20WEIMIDEXIAOBANDIANDAO
GEZHONGBIAOMIANTIAOJIANDEYANGPIN,DOUKEJINXINGHOUDUCELIANG。
Point4:GEZHONGHUANJINGDOUKEDUIYING
YINWEIZUIYUANKEYICONG200 mmDEWEIZHIJINXINGCELIANG,
SUOYIKEGENJUMUDEHEYONGTUGOUJIANCELIANGHUANJING。
CEDINGXIANGMU
HOUDUCELIANG(5CENG)
YONGTU
GEZHONGHOUMODEHOUDU
SHIYANG
型号 | SF-3/200 | SF-3/300 | SF-3/1300 | SF-3/BB |
---|---|---|---|---|
测量厚度范围㎛ | 5~400 | 10~775 | 50~1300 | 5~775 |
树脂厚度范围㎛ | 10~1000 | 20~1500 | 100~2600 | 10~1500 |
最小取样周期kHz(μsec) | 5(200)※1 | - | ||
重复精度% | 0.01%以下※2 | |||
测量点径㎛ | 约φ20以上※3 | |||
测量距离mm | 50.80.120※4.200※4 | |||
光源 | 半导体光源(クラス3B相当) | |||
解析方法 | FFT解析,最适化法※5 | |||
interface | LAN,I/O入输出端子 | |||
电源 | DC24V式样(AC电源另行销售) | |||
尺寸mm | 123×128×224 | 检出器:320×200×300 光源:260×70×300 | ||
选配 | 各种距离测量探头,电源部(AC用),安全眼睛 铝参考样品,测量光检出目标,光纤清理器 |
*1 : 测量条件以及解析条件不同,最小取样周期也不同。
*2 : 是英超联赛下注出货基准的保证值规格,是当初基准样品AirGap约300μm和
約1000μm测量时的相对标准偏差( n = 20 )
*3 : WD50mm探头式样时的设计值
*4 : 特別式样
*5 : 薄膜测量时使用
※CE取得品是SF-3/300、SF-3/1300
JIBENGOUCHENG
CEDINGLI
TIEHEJINGYUAN
Mapping结果
研削后300mm晶圆硅厚度